化學品自動取樣機 ASX-3000
Automated Chemical Sampler
專利全封閉雙隔離設計
具備 I919853 自動取樣裝置與 I907292 濾芯清洗裝置專利。實體阻絕人員與高危險化學品接觸，實現 100% 零人工暴露，並防止環境微粒造成交叉污染。
AI 預測性提取與精密扭力偵測
搭載伺服數控精密定位與自動旋蓋機構。透過動態 PID 控制與真空補償提取技術，確保昂貴化學品（如 High-K 前驅體）零殘留，取樣誤差大幅降低 50% 以上。
SCADA / FMCS 無縫整合
支援 PLC / SECS/GEM 標準通訊協定，取樣條件全程式化控制。即時上傳壓力、流量數據，建立完整的「化學品品質履歷」，滿足晶圓廠對良率分析的嚴苛要求。
化學流體設備系列 chemical fluid systems -- 02-05
02 化學混合設備
CMS – Chemical Mixing System
用於自動混合多種化學藥液的設備，依照預設比例與配方，
製造出目標濃度的化學溶液，供應給製程設備使用。
03 化學品櫃 / 控制箱
CCB– Chemical Cabinet / Chemical Control Box儲存或局部供應化學品的設備，具備安全防護、閥控、洩漏偵測等功能。
也可能是安裝在機台旁的控制箱，用來控制化學供應的開關。
04 化學藥液桶供應設備
CDU– Chemical Drum Unit
儲存槽將化學品分配至多個機台或使用點的設備系統，
通常具備流量控制、壓力監控、迴路切換等功能，是整體供應系統的核心。
05 研磨液供應設備
Slurry Distribute System
06 系統工程統包能力 Turnkey System Engineering
介面智能的核心團隊擁有超過 20 年的半導體建廠與高純度系統經驗，曾主導全球半導體製程龍頭大廠的化學供應與特殊氣體純化專案。我們能針對極端危險的有機溶劑（如 IPA 異丙醇純化系統），提供具備「失效防護 (Fail-safe)」與「主動式洩漏偵測」的最高安全級別建置。
